(2)精密工程：它包括精密加工和超精密加工技術(shù)、微細加工和超微細加工技術(shù)、微型機械和納米(10 -9 m)技術(shù)等方面0 20世紀初由于發(fā)明了能測量O.O01rnm的千分表和光學(xué)比較儀等，加工精度逐漸向微米級過渡，當時將達到微米級的加工稱為精密加工‘（精密加工指加工精度為1—O.1um，表面粗糙度為R。O.1—O.01um的技術(shù)），本世紀50年代末以來，由于生產(chǎn)航天飛機、大規(guī)模集成電路、高密度硬磁盤、激光器等的需要，出現(xiàn)了各種微細加工工藝（微小尺寸零件亞微米級加工精度的加工技術(shù)），使機械加工精度提高1—2個數(shù)量級，提高到目前的納米(nm)級(1nmi=10 - r-ri)，從而進入了超精密加工的時代，各個年代達到的加工精瘦的大致水平和相應(yīng)機床、測量儀器的情況見圖1—190所謂超精密加工是指加工精度達到O.01um，磨機參數(shù)表面粗糙度R。值達到O.OOlum的加工技術(shù)，這些超精密加工往往反映在某些精密裝置與儀器零部件制造上，如高精度的圓柱氣浮軸承＼激光反射鏡、電液伺服閥、零零級塊規(guī)、超高精度的母機床等的制造上。從機械加工的內(nèi)容來看，大體上是加工精度為0 .lpm以下的球體或圓柱面圓度加工，0. 1um以下的平面與鏡面多邊體加工，±0,1角秒的圓分度機構(gòu)加工，精密導(dǎo)軌與精密絲桿加工，精密齒輪制造等等。